镀膜如何正确选择晶振片？

真空镀膜技术在越来越多的领域使用，如何监控淀积的膜厚是镀膜领域重要的一环，目前较多采用的是石英晶体振荡监控法和光学膜厚监控法。 本期我们为您介绍如何正确选择晶振片。

原 理

石英晶体法监控膜厚，主要是利用了石英晶体的压电效应和质量负荷效应。当晶振片上镀了某种膜层，使晶振片的厚度增加，则晶振片的固有频率会相应的变化。

晶体的基频越高，控制的灵敏度也越高，但基频过高时，晶体片会做得很薄，很薄的晶体片易碎，一般选用AT切型频率5～10MHz。采用AT切晶体片，其振动频率对质量的变化极其灵敏，但却不敏感于温度的变化，具有精度高、灵敏度好等独特的优势，非常适合于真空薄膜淀积中的膜厚监控。(相关阅读可以查看PINHUI品慧官网《选择晶振的五点注意要求》)

分 类

现在市场上常用的有两种频点，标称频率分别为5.000MHz、6.000MHz，根据膜厚控制仪的探头设计不同，采用不同的电极形状如下：

电 极 材 料

晶振片的电极对膜厚监控至关重要，目前市场上提供三种标准电极材料：金、银和合金。 用户所镀的材料不同，需选用不同的电极材料产品。

金：是最广泛使用的传统材料，它具有低接触电阻，高化学温定性，易于沉积。适合于镀低应力膜料，入镀Al Au Ag Cu。

银：适合于镀高应力膜料，如Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不锈钢等。

银铝合金：适合于镀介质光学膜，MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2等膜料。

为了提高晶振片的稳定性，增加电极膜与石英晶片的附着强度，根据经验总结在镀电极材料之前，先镀一层镉(Cr)效果更好。

注 意 事 项

1、新的晶振片使用之前应在分析纯中浸泡约1分钟，然后用塑料镊子夹取并用无尘纸或洁净的绸布将分析纯擦拭干净，同时用蘸有酒精的无尘纸或绸布将晶振座擦拭干净，组装晶振片之前用吹气球将晶振片、晶振座及探头的接触弹簧上可能残留的灰尘吹掉，任何晶体和夹具之间的颗粒或灰层将影响电子接触，而且会产生应力点，从而改变晶体振动的模式，晶振片装好后再一次用吹气球吹晶振片的表面，去除散落的灰尘。

2、更换安装晶振片时用摄子挟住晶振片的边缘，不要用手指接触晶振片中心，避免留下油渍，否则会降低晶振片的振动能力。

3、晶振座经过多次镀膜后其表面会沉积较厚的膜，如果不将其除去，由于离子轰击产生的反溅射会影响晶振片的测试精度。可以先用喷砂或用打砂纸方法将膜层除去，之后用酒精浸泡5分钟左右，用超声波超声清洗一下，效果会更好，最后再将其放入110℃烤箱中烘烤15分钟，即可使用。

4、在淀积过程中，基频频率最大下降量允许2～3%，约几百KHz。若下降太多，振荡器不能稳定工作，产生跳频现象，如果此时继续淀积膜层，就会出现停振。故晶振片上膜层镀到一定厚度以后，就应该更换新的晶振片。

5、蒸发速率出现明显异常时必须更换晶振片。

6、晶振片的表面明显出现膜脱落或起皮的现象也需更换。

7、保持足够的冷却水使晶振头温度在20～50度范围效果更佳。

晶 振 片 再 利 用

1、银或银铝合金溶于各种酸，不适合再处理利用，必需彻底除去晶振片上的膜层和电极，重新寄回我司镀上电极。

2、金不溶于硫酸，用户可以自已进行处理，去掉晶振片上膜层，清洗干净再利用，但重复利用次数不易太多，否则质量稳定性降低影响使用。